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    无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。分析国外试验资料可以认为⑴无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

    工业无尘室用途——以无生命微粒的控制为对象。无尘室（无尘厂房）主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多种不同行业。

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     每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。例：制药工业、***（***室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

    除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5%浓度的IPA或***，以增强去污能力，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。