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发布时间:2022-01-26 12:44:31
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成,帽子材质则与洁净衣同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛或脸表面部分外,其他部分均须包覆,在头部部分连接上衣处也必须完全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。 单流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
苏州卓宇泰公司是一家主营设备搬迁、精准***、无尘车间、设备安装,设备包装,大型厂房搬迁等业务。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是无尘室室内风速测量(工作高度)。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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