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发布时间:2021-11-20 18:59:57
无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。人⑷无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14⑸发菌量:发尘量1:500~1:1000据国内事例:⑹***中人员发菌量878个/min。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着,通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。***、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级。
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